НЕФТЬ-ГАЗ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

Теперь на нашем сайте можно за 5 минут создать свежий реферат или доклад

Скачать книгу целиком можно на сайте: www.nglib.ru.

<< Химия, физика и механика полимеров <<

Беднарж Б.N. Светочувствительные полимерные материалы

Скачать книгу здесь
Автор: Беднарж Б.N.
Название: Светочувствительные полимерные материалы
Год издания: 1985
УДК: 541.147
Число страниц: 297
Содержание книги:
Предисловие
Введение
Глава I. Физико-химические основы, приемы и процессы литографии
I. 1. Формирование слоя резиста
1.2. Предэкспозиционная термообработка
1.3. Экспонирование
1.3.2. Электронное излучение и электронная литография
1.3.3. Рентгеновская литография
1.3.4. Ионная литография
1.3.5. Смешанная литография
1.4. Светочувствительность, контрастность, разрешающая способность фоторезистов
1.5. Проявление
1.5.1. Моделирование экспонировании и проявлении
1.6. Постэкспозиционная термообработка
1.7. Травление подложки и снятие резиста
1.8. Адгезия резистов к подложке
Глава II. Позитивные фоторезисты
II. 1. Системы, содержащие растворимый в основаниих полимер и создающие рельеф в результате превращений светочувствительной гидрофобной добавки
II. 1.1. Хинондиазидные композиции
II. 1.1.2. Основные компоненты резистов
II. 1.1.3. Модификация полимерного компонента резистов
II. 1.1.4. Улучшение свойств резистного слоя
II. 1.2. Композиции с веществом, генерирующим под действием света кислоту, и с циклическим ацеталем
„ II. 1.3. Композиции с фотоокислителем и дигидропиридином II. 2.1. Композиции с веществом, генерирующим под действием света кислоту, и с неустойчивым полимером
II. 2.2.1. Превращения за счет боковых цепей полимеров
II. 2.2.2. Превращения за счет основных цепей полимеров
II. 2.2.3. Другие превращения
Глава III. Негативные фоторезисты на основе ониевых солей
III. 1. Диазосоединения
III. 1.1. Низкомолекулярные соли диазония
III. 1.2. Диазосмолы
III. 1.2.2. Однослойные композиции, дающие негативное изображение
III. 1.2.3. Композиции, дающие позитивное изображение
III. 2. Ониевые соли как источники кислот Льюиса или Бренстеда
III. 2.1. Соли диазония
III. 2.2. Соли мероцианиновых красителей
III. 2.3. Ониевые соли элементов V, VI, VII групп с комплексными анионами
III. 2.3.1. Пути фоторазложения
III. 2.3.2. Композиции светочувствительных слоев
Глава IV. Негативные азидсодержащие фоторезисты
IV. 1. Фотохимические свойства арилазидов
IV. 2. Олеофильные арилазиды в фоторезистах
IV. 3. Водорастворимые арилазиды в фоторезистах
IV. 4. Фоторезисты на основе азидополимеров
Глава V. Негативные фоторезисты на основе поливинилциннаматов и других циклодимеризующихся систем
V. 1. Составы на основе поливииилциннаматов
V. 2. Другие циклодимеризующиеся полимерные системы
Глава VI. Фоторезисты различного назначения
VI. 1. Фоторезисты для коротковолнового УФ-света
VI. 1.1. Позитивные фоторезисты
VI. 1.2. Негативные фоторезисты
VI. 2. Сухие фоторезисты
VI. 3. Термостойкие фоторезисты
VI. 4. Фоторезисты-диффузанты
VI. 5. Системы с переносом рельефного изображения
Глава VII. Резисты, чувствительные к электронному и рентгеновскому излучению
VII. 1. Особенности распространения электронного излучения в полимерных слоях
VII. 2. Структурирование и деструкция полимеров под действием ионизирующего излучения
VII. 2.1. Чувствительность полимеров к ионизирующему излучению .. 224 VII. 2.2. Механизмы превращения полимеров
VII. 2.2.1. Диеновые полимеры
VII. 2.2.2. Полимеры акриловой и метакриловой кислот и их производных
VII. 2.2.3. Полиолефины, полиолефинсульфоны
VII. 2.2.4. Полимеры на основе стирола и винилацетата
VII. 3. Технологические разработки резистов
VII. 3.1. Особенности оценки литографических параметров
VII. 3.2. Электроиорезисты
VII. 3.2.1. Негативные резисты
VII. 3.2.2. Позитивные резисты
VII. 3.3. Рентгеиорезисты
VII. 3.4. Неорганические резисты
Глава VIII. Многослойные резистине системы
Приложение. Промышленные фоторезисты
Литература
Глоссарий:
2 а б в г д е ж з и к л м н о п р с т у ф х ц ч ш щ э ю я
Смотреть страницы:
2 3 33 62 91 120 149 178 207 236 265 294 296 297
Полнотекстовый поиск по книге:
Введите слово или фразу для поиска:
Близкие по содержанию книги:
Технология полупроводниковых приборов
Электротехника, электропривод >> Электроника и радиотехника >> Полупроводники
Синтетический каучук
Химическая технология >> Полимеры >> Резина, каучук
Многокомпонентные полимерные системы
Химическая технология >> Полимеры >> Исследования

Просмотреть оригинальные страницы книг в формате djvu можно на сайте: www.nglib.ru.


Главный редактор проекта: Мавлютов Р.Р.
oglib@mail.ru